真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，目前这些泵是我国-各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中-、产生和维持真空的装置。近年来， 伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地发展。
旋片泵是真空技术中基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。可由密封件老化，装置不当，运行时间久损坏，外表不平整，有杂质，粗糙和铸件疏松等引起。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构-两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。
旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333pa、1.33pa和1.33×10-1pa下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%.
小型真空泵指的就是微型真空泵，因为体积小通常把微型真空泵叫做小型真空泵。微型真空泵即小型真空泵)是指：具备一进一出的抽气嘴、排气嘴各一个，并且在进口处能够持续形成真空或负压；排气嘴处形成微正压；工作介质主要为气体，体积小巧的一种仪器。
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